安徽天康扩散硅压力变送器的主要作用及原理
更新时间:2015-09-09 点击次数:1640
一、
安徽天康扩散硅压力变送器的主要作用:
安徽天康扩散硅压力变送器的被测介质的两种压力通入高、低两压力室,低压室压力采用大气压或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上,通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。压力变送器是由测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。当两侧压力不一致时,致使测量膜片产生位移,其位移量和压力差成正比,故两侧电容量就不等,通过振荡和解调环节,转换成与压力成正比的信号。
二、安徽天康扩散硅压力变送器的工作原理:
压力变送器的核心是一个扩散硅敏感元件,它是在硅基片上采用离子注入并经激光修正制成惠斯登电桥,过程压力作用于传感器的隔离膜片上使膜片产生位移,通过膜盒内的硅油压力传递到硅基片上,同时参考端的压力(大气压、绝压或密封压)作用于硅片的另一测,这样在硅片的两边就加上了一个差压,差压在硅片上产生了一个应力场,使惠斯登电桥的四支电阻,有两支因拉伸而阻值变小,另外两支因压缩而阻值变大,变化量为ΔR,桥臂阻值的变化使电桥失去平衡这样就产生了一个与压力成正比的电压输出信号。